Меню
Публикации
Главный редактор

ТИБИЛОВ
Александр Саламович
к ф-м.н., ст.н.с
Зуева Л.В.
Место работы: ЗАО ОКБ “Карат”, СанктПетербург
Иванова Т. В., Зуева Л. . Исследование способов дискретизации источника при моделировании фотолитографического изображения
Статья опубликована в выпуске 5(79) за 2012
Статья опубликована в выпуске 5(79) за 2012