Меню
Публикации
Главный редактор
ТИБИЛОВ
Александр Саламович
к ф-м.н., ст.н.с
Никулина Е.А.
Место работы: НПК “Государственный оптический институт им. С.И. Вавилова”, Санкт-Петербург
Ученая степень: магистр
Ученая степень: магистр
Ган М. А., Никулина Е. . Определение топографии двулучепреломления в кристаллах флюорита и исследование его влияния на качество изображения проекционных фотолитографических систем
Статья опубликована в выпуске 11(78) за 2011
Статья опубликована в выпуске 11(78) за 2011