Меню
Публикации
Главный редактор
ТИБИЛОВ
Александр Саламович
к ф-м.н., ст.н.с
Ган Михаил Абрамович
Место работы: ВНЦ «ГОИ им. С.И. Вавилова»
Должность: начальник отдела ВНЦ «ГОИ им. С.И. Вавилова»
Ученая степень: доктор технических наук
Должность: начальник отдела ВНЦ «ГОИ им. С.И. Вавилова»
Ученая степень: доктор технических наук
Ган М. А., Никулина Е. . Определение топографии двулучепреломления в кристаллах флюорита и исследование его влияния на качество изображения проекционных фотолитографических систем
Статья опубликована в выпуске 11(78) за 2011
Статья опубликована в выпуске 11(78) за 2011