Меню
Публикации
Главный редактор
ТИБИЛОВ
Александр Саламович
к ф-м.н., ст.н.с
Спирин А.В.
Жихарев Е. ., Кальнов В. ., Спирин А. ., Стрельцов Д. . НОВЫЙ МЕТОД ФОРМИРОВАНИЯ ЛИТОГРАФИЧЕСКОЙ МАСКИ ИЛИ РЕЛЬЕФА НЕПОСРЕДСТВЕННО В ПРОЦЕССЕ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОГО ЭКСПОНИРОВАНИЯ РЕЗИСТА
Статья опубликована в выпуске 9(80) за 2013
Статья опубликована в выпуске 9(80) за 2013