Куинг Т. ., Фенггуанг Л. ., Йинхинг Ж. ., Бингченг М. ., Руи Ж. ., Дандан М. ., Хиаохинг П. ., Куианлианг Л. . Analysis of Fabrication Tolerance Based on Uneven Thickness of Su8-photo-resist
Статья опубликована в выпуске 5(80) за 2013