Меню
Публикации
Главный редактор
ТИБИЛОВ
Александр Саламович
к ф-м.н., ст.н.с
Сейсян Р.П.
Место работы: Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург
Ученая степень: доктор физ.-мат. наук
E-mail: seis@ffm.ioffe.ru
Ученая степень: доктор физ.-мат. наук
E-mail: seis@ffm.ioffe.ru
Бельский А. Б., Ган М. ., Миронов И. ., Сейсян Р. . Перспективы развития оптических систем для нанолитографии
Статья опубликована в выпуске 8(76) за 2009
Статья опубликована в выпуске 8(76) за 2009