Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
Апрель 2014 № 4(81)

Сейсян Р.П.

Место работы: Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург
Ученая степень: доктор физ.-мат. наук
E-mail: seis@ffm.ioffe.ru
Бельский А. Б., Ган М. ., Миронов И. ., Сейсян Р. . Перспективы развития оптических систем для нанолитографии
Статья опубликована в выпуске 8(76) за 2009
Информация 2002-2017 ©
Научно-технический «ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
Все права защищены.