Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
Апрель 2014 № 4(81)
УДК 535.417; 535.317; 778.38

ВЫБОР ПАРАМЕТРОВ СИНТЕЗА ГОЛОГРАММ-ПРОЕКТОРОВ ДЛЯ ФОТОЛИТОГРАФИИ

Корешев С. Н., Никаноров О. В., Козулин И. .


Читать статью полностью 
Рассмотрены особенности синтеза голограмм-проекторов, предназначаемых для использова­ния в голографическом варианте фотолитографического процесса. Основное внимание уделено влиянию дискретизации объекта и голограммы на структуру восстанавливаемого изображения. Сформулированы и обоснованы требования, предъявляемые к параметрам расчета и отображе­ния синтезированных голограмм. Установлено, что дискретизация синтезированных голограмм приводит не только к появлению дополнительных восстанавливаемых изображений, но и к огра­ничению минимального размера элементов восстанавливаемых изображений величиной 1,5λ .
Информация 2002-2017 ©
Научно-технический «ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
Все права защищены.