Меню
Публикации
Главный редактор

ТИБИЛОВ
Александр Саламович
к ф-м.н., ст.н.с
УДК535.417; 535.317; 778.38
Корешев С. Н., Никаноров О. В., Козулин И.
Читать статью полностью
ВЫБОР ПАРАМЕТРОВ СИНТЕЗА ГОЛОГРАММ-ПРОЕКТОРОВ ДЛЯ ФОТОЛИТОГРАФИИ
Читать статью полностью

Рассмотрены особенности синтеза голограмм-проекторов, предназначаемых для использования в голографическом варианте фотолитографического процесса. Основное внимание уделено влиянию дискретизации объекта и голограммы на структуру восстанавливаемого изображения. Сформулированы и обоснованы требования, предъявляемые к параметрам расчета и отображения синтезированных голограмм. Установлено, что дискретизация синтезированных голограмм приводит не только к появлению дополнительных восстанавливаемых изображений, но и к ограничению минимального размера элементов восстанавливаемых изображений величиной 1,5λ
.