Проведены исследования влияния теплофизических характеристик полироваль-ных смол, давления, размера зерна используемого абразива, скорости вращения и  частоты качания обрабатывающего инструмента на процесс механического и химико-механического полирования селенида и сульфида цинка и качество получаемых  поверхностей. Разработан алгоритм компьютерного распознавания дефектов на  микрофотографиях полированных поверхностей халькогенидов цинка. Получены за-висимости количественных характеристик дефектов на изображениях полированной  поверхности халькогенидов цинка от параметров процесса механического и химико-механического полирования. 

Ключевые слова: халькогениды цинка, дефекты поверхности, химико-механическое  полирование