Меню
Публикации
Главный редактор

ТИБИЛОВ
Александр Саламович
к ф-м.н., ст.н.с
Контроль оптических толщин осаждаемых слоев непосредственно на рабочих образцах в процессе роста
Проведен анализ ошибок фотометрического контроля толщин слоев при вакуумном
напылении многослойных интерференционных систем. Показано, что при контроле
толщин растущего слоя по изменению спектральной характеристики пропускания
(отражения) в определенном интервале длин волн погрешность измерения сигнала
не более 1% приводит к существенным ошибкам контроля толщин осаждаемых сло-ев. В случае контроля сквозным методом на расчетных фиксированных длинах волн
ошибки менее значительны. Предложена оптическая система, позволяющая проводить
контроль толщины слоев покрытия в процессе их нанесения по отражению непосред-ственно по рабочим деталям или свидетелю, расположенному рядом с деталями на
куполе вращения.
Ключевые слова:
фотометрический контроль, многослойные интерференционные системы