Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
Январь 2014 № 1(81)

Контроль оптических толщин осаждаемых слоев непосредственно на рабочих образцах в процессе роста

Гайнутдинов И., Гусев А., Душин А., Мустаев Р., Насыров А., Мирханов Н., Михайлов А.

Проведен анализ ошибок фотометрического контроля толщин слоев при вакуумном  напылении многослойных интерференционных систем. Показано, что при контроле  толщин растущего слоя по изменению спектральной характеристики пропускания  (отражения) в определенном интервале длин волн погрешность измерения сигнала  не более 1% приводит к существенным ошибкам контроля толщин осаждаемых сло-ев. В случае контроля сквозным методом на расчетных фиксированных длинах волн  ошибки менее значительны. Предложена оптическая система, позволяющая проводить  контроль толщины слоев покрытия в процессе их нанесения по отражению непосред-ственно по рабочим деталям или свидетелю, расположенному рядом с деталями на  куполе вращения.
Ключевые слова: фотометрический контроль, многослойные интерференционные системы
Информация 2002-2020 ©
Научно-технический «ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
Все права защищены.