Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
Апрель 2014 № 4(81)

Контроль оптических толщин осаждаемых слоев непосредственно на рабочих образцах в процессе роста

Гайнутдинов И. ., Гусев А. ., Душин А. ., Мустаев Р. ., Насыров А. ., Мирханов Н. ., Михайлов А. .

Проведен анализ ошибок фотометрического контроля толщин слоев при вакуумном  напылении многослойных интерференционных систем. Показано, что при контроле  толщин растущего слоя по изменению спектральной характеристики пропускания  (отражения) в определенном интервале длин волн погрешность измерения сигнала  не более 1% приводит к существенным ошибкам контроля толщин осаждаемых сло-ев. В случае контроля сквозным методом на расчетных фиксированных длинах волн  ошибки менее значительны. Предложена оптическая система, позволяющая проводить  контроль толщины слоев покрытия в процессе их нанесения по отражению непосред-ственно по рабочим деталям или свидетелю, расположенному рядом с деталями на  куполе вращения.
Ключевые слова: фотометрический контроль, многослойные интерференционные системы
Информация 2002-2017 ©
Научно-технический «ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
Все права защищены.