Меню
Публикации
Главный редактор

ТИБИЛОВ
Александр Саламович
к ф-м.н., ст.н.с
УДК 53.087.92 + 681.7.064
Кручинин Д. Ю.
Читать статью полностью
ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ УГЛОВ ПАДЕНИЯ ЛУЧЕЙ АКТИНИЧНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ НА ПОВЕРХНОСТЬ ФОТОШАБЛОНА НА УГЛОВЫЕ ПОГРЕШНОСТИ ЛИМБОВ, ИЗГОТОВЛЕННЫХ МЕТОДОМ ОБРАТНОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ
Читать статью полностью

Рассмотрены результаты исследования влияния углов падения лучей актиничного излучения на поверхность фотошаблона в операции контактного экспонирования тех- нологического процесса обратной фотолитографии на угловые погрешности круговых оптических шкал (лимбов).
Ключевые слова:
круговая оптическая шкала, лимб, угловая погрешность, обратная фотолитография