Меню
Публикации
Главный редактор

ТИБИЛОВ
Александр Саламович
к ф-м.н., ст.н.с
УДК681.7.064
Кручинин Д. Ю.
Читать статью полностью
Исследование возможности уменьшения угловых погрешностей круговых оптических шкал, изготовленных способом обратной фотолитографии
Читать статью полностью

Рассмотрены возможности уменьшения угловых погрешностей круговых оптических шкал, изготовленных способом обратной фотолитографии с использованием фотошаблонов, синтезированных с помощью лазерного генератора изображений CLWS-300.
Ключевые слова:
круговая оптическая шкала, лимб, угловая погрешность, лазерный генератор изображений