Исследованы режимы детектирования сверхпроводникового однофотонного детектора. Предложена методика определения областей доминирования «чистых» режимов. На основе экспериментальных данных определены зависимости внутренней квантовой эффективности в одно, двух, трехфотонном режимах детектирования от тока смещения.

Ключевые слова: сверхпроводниковый однофотонный детектор, п-фотонный режим детектирования, внутренняя квантовая эффективность