Проведено исследование люминесцентных свойств анодно-окисленного пористого кремния различной степени окисления. Рассмотрено влияние лазерного возбуждения и фотостимулированного анодного окисления на интенсивность фотолюминесценции пористого кремния. Предложена модель фотолюминесценции в пористом кремнии.

Ключевые слова: ористый кремний, фотолюминесценция, рекомбинация