Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
Январь 2014 № 1(81)
УДК539.294

К ТЕОРИИ ЭЛЛИПСОМЕТРИИ РЕАЛЬНОЙ ПОВЕРХНОСТИ

Гайнутдинов И., Несмелов Е., Шаймарданов Р., Иванов В. А., Михайлов А.


Читать статью полностью 
В работе рассмотрен вопрос о неправомерности описания шероховатости поверхности эффективным слоем в случае эллипсометрических измерений. Показано, что остаточный сигнал эллипсометра определяется рассеянием излучения на измеряемой поверхности.
Информация 2002-2021 ©
Научно-технический «ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
Все права защищены.