Меню
Публикации
Главный редактор

ТИБИЛОВ
Александр Саламович
к ф-м.н., ст.н.с
УДК539.294
Гайнутдинов И., Несмелов Е., Шаймарданов Р., Иванов В. А., Михайлов А.
Читать статью полностью
К ТЕОРИИ ЭЛЛИПСОМЕТРИИ РЕАЛЬНОЙ ПОВЕРХНОСТИ
Читать статью полностью

В работе рассмотрен вопрос о неправомерности описания шероховатости поверхности эффективным слоем в случае эллипсометрических измерений. Показано, что остаточный сигнал эллипсометра определяется рассеянием излучения на измеряемой поверхности.