Меню
Публикации
Главный редактор

ТИБИЛОВ
Александр Саламович
к ф-м.н., ст.н.с
УДК 535.345.673: 517.51
Котликов Е. Н., Новикова Ю.
Читать статью полностью
СРАВНИТЕЛЬНЫЙ АНАЛИЗ КРИТЕРИЕВ УСТОЙЧИВОСТИ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ ПОКРЫТИЙ
Читать статью полностью

В работе проведен сравнительный анализ критериев устойчивости спектральных характеристик многослойных диэлектрических систем к возможным изменениям оптической толщины отдельных слоев. Предложена методика, в основе которой ле- жит введенный критерий устойчивости синтезированных интерференционных по- крытий, позволяющий исследовать трансформацию спектров при реальных ошибках в толщинах пленок. На примерах некоторых типов интерференционных покрытий проведен сравнительный анализ известных и предложенной методик и показано, что введенный критерий точнее описывает устойчивость покрытия и позволяет коррек- тировать его спектры в процессе изготовления.
Ключевые слова:
интерференционные покрытия, устойчивость покрытия, функция качества, функция устойчивости