В работе проведен сравнительный анализ критериев устойчивости спектральных характеристик многослойных диэлектрических систем к возможным изменениям оптической толщины отдельных слоев. Предложена методика, в основе которой ле- жит введенный критерий устойчивости синтезированных интерференционных по- крытий, позволяющий исследовать трансформацию спектров при реальных ошибках в толщинах пленок. На примерах некоторых типов интерференционных покрытий проведен сравнительный анализ известных и предложенной методик и показано, что введенный критерий точнее описывает устойчивость покрытия и позволяет коррек- тировать его спектры в процессе изготовления.

Ключевые слова: интерференционные покрытия, устойчивость покрытия, функция качества, функция устойчивости