Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
Апрель 2014 № 4(81)
УДК 531.7.082.5:535.42/44

НОВЫЙ МЕТОД ДИФРАКЦИОННОГО КОНТРОЛЯ МАЛЫХ УГЛОВЫХ И ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ

Назаров В. Н., Соколов Ю. А.


Читать статью полностью 
Рассмотрен новый метод дифракционного контроля малых угловых и линейных перемещений на основе схемы дифракционного интерферометра, в которой оба интерферирующих волновых фронта формируются дифракционными элементами. Получена математическая модель, описывающая распределение интенсивности излучения в плоскости регистрации, хорошо согласующаяся с результатами экспериментов. Результаты расчетов показали возможность создания компактных дифракционного автоколлиматора и индикатора линейных перемещений, обладающих высокой потенциальной разрешающей способностью (до 0,01" и 2 нм соответственно) с возможностью изменения чувствительности и диапазона измерений абсолютных значений угловых и линейных величин более чем на порядок.
Ключевые слова: метод дифракционного контроля, измерение малых перемещений.
Информация 2002-2017 ©
Научно-технический «ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
Все права защищены.