Рассмотрен новый метод дифракционного контроля малых угловых и линейных перемещений на основе схемы дифракционного интерферометра, в которой оба интерферирующих волновых фронта формируются дифракционными элементами. Получена математическая модель, описывающая распределение интенсивности излучения в плоскости регистрации, хорошо согласующаяся с результатами экспериментов. Результаты расчетов показали возможность создания компактных дифракционного автоколлиматора и индикатора линейных перемещений, обладающих высокой потенциальной разрешающей способностью (до 0,01" и 2 нм соответственно) с возможностью изменения чувствительности и диапазона измерений абсолютных значений угловых и линейных величин более чем на порядок.

Ключевые слова: метод дифракционного контроля, измерение малых перемещений.