Меню
Публикации
Главный редактор

ТИБИЛОВ
Александр Саламович
к ф-м.н., ст.н.с
УДК531.7.082.5:535.42/44
Назаров В. Н., Соколов Ю. А.
Читать статью полностью
НОВЫЙ МЕТОД ДИФРАКЦИОННОГО КОНТРОЛЯ МАЛЫХ УГЛОВЫХ И ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ
Читать статью полностью

Рассмотрен новый метод дифракционного контроля малых угловых и линейных перемещений на основе схемы дифракционного интерферометра, в которой оба интерферирующих волновых фронта формируются дифракционными элементами. Получена математическая модель, описывающая распределение интенсивности излучения в плоскости регистрации, хорошо согласующаяся с результатами экспериментов. Результаты расчетов показали возможность создания компактных дифракционного автоколлиматора и индикатора линейных перемещений, обладающих высокой потенциальной разрешающей способностью (до 0,01" и 2 нм соответственно) с возможностью изменения чувствительности и диапазона измерений абсолютных значений угловых и линейных величин более чем на порядок.
Ключевые слова:
метод дифракционного контроля, измерение малых перемещений.