Представлены результаты исследований эксиламп с возбуждением барьерным коронным разрядом, для которого характерно неоднородное распределение электрического поля между электродами, один из которых покрыт диэлектриком. Установлено, что при этих условиях возбуждения эффективность излучения на димерах инертных газов достигает 45% на 172 нм и 25% на 146 нм. На основе проведенных исследований созданы: излучательный комплекс отпаянных эксиламп на димерах ксенона с мощностью излучения до 120 Вт и широкоапертурная, малогабаритная эксилампа с прокачкой аргона в разрядном объеме. Плотность мощности излучения малогабаритной эксилампы в безоконном режиме достигала 10 мВт/см2.

Ключевые слова: вакуумное ультрафиолетовое излучение, эксилампа, барьерная корона, однобарьерный разряд.