Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
Апрель 2014 № 4(81)

ИССЛЕДОВАНИЕ СВОЙСТВ ПЛЕНОК, ПОЛУЧЕННЫХ СОВМЕСТНЫМ ИСПАРЕНИЕМ ДВУХ ДИЭЛЕКТРИКОВ ЧЕРЕЗ ДИАФРАГМУ

Губанова Л. ., Путилин С. Э.


Читать статью полностью 
Описано формирование интерференционных диэлектрических покрытий с из- меняющимися по радиальной координате показателем преломления и толщиной. Такие покрытия могут быть получены при одновременном осаждении пленкообра- зующих веществ из двух испарителей с разной скоростью через диафрагму, рас- положенную параллельно плоскости испарителей. Исследовано распределение показателя преломления покрытия, образованного при одновременном испарении двух пленкообразующих веществ из источников, находящихся на разных расстоя- ниях от оси вращения подложки. Представлены экспериментальные данные о пока- зателе преломления пленок при совместном испарении двух оксидов. Показано, что форм-факторы этих пар отличаются: у оксидов титана и кремния он равен единице, а у оксидов гафния и кремния равен нулю.
Ключевые слова:  одновременное испарение, диэлектрик, показатель прелом- ления, толщина слоя, неоднородные слои, распределение показателя преломления, распределение толщины слоя
Информация 2002-2017 ©
Научно-технический «ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
Все права защищены.