Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
Апрель 2014 № 4(81)

ПРЕОБРАЗОВАНИЕ ИЗОБРАЖЕНИЙ В МОЗАИЧНЫХ НЕОХЛАЖДАЕМЫХ МИКРОБОЛОМЕТРИЧЕСКИХ ПРИЕМНИКАХ ИНФРАКРАСНОГО И ТЕРАГЕРЦОВОГО ДИАПАЗОНОВ ФОРМАТОМ ДО 3072×576 И БОЛЕЕ

Демьяненко М. .


Читать статью полностью 
Рассмотрены конструктивно-технологические принципы создания мозаичных фотоприемников (МФП) гипербольшого формата на основе технологии близкой сты- ковки кремниевых кристаллов с неохлаждаемыми матричными микроболометри- ческими приемниками (ММБП) меньшего формата. Исследован и оптимизирован базовый блок технологических операций лазерного скрайбирования в составе преци- зионной технологии близкой стыковки кристаллов с суммарным размером техноло- гической части «слепой зоны» между краевыми фоточувствительными элементами соседних кристаллов ММБП не более 30 мкм. Синтезированы конструкция и схема кремниевого мультиплексора форматом 384×288, которые при изготовлении МФП форматом 3072×576 по разработанной технологии близкой стыковки, для инфра- красных микроболометров могут обеспечить эффективность преобразования изобра- жений более 99%, а для микроболометров терагерцового диапазона до 100%.
Ключевые слова: мозаичный фотоприемник, микроболометр, кремниевый муль- типлексор, инфракрасный диапазон, терагерцовый диапазон, скрайбирование,  импульсный наносекундный лазер
Информация 2002-2017 ©
Научно-технический «ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
Все права защищены.