Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
Январь 2014 № 1(81)
УДК617.7 535.34

Интерферометр фазового сдвига для контроля плоских и сферических оптических деталей

Вишняков Г. Н., Левин Г. Г., Минаев В., Цельмина И.

Рассмотрен автоматизированный интерферометр, позволяющий измерять профиль поверхности плоских и сферических (с большим радиусом кривизны) оптических деталей. Диаметр поля зрения интерферометра до 30 мм. Вертикальная компоновка основных оптических элементов интерферометра позволила добиться его компактности и малой чувствительности к вибрациям. Автоматическое измерение профиля поверхности производится с помощью 9-ти шагового метода фазового сдвига. Приведены результаты экспериментального испытания интерферометра и его технические характеристики.
Ключевые слова: интерферометрия фазового сдвига, профиль поверхности, радиус кривизны, децентровка
Информация 2002-2020 ©
Научно-технический «ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
Все права защищены.