Меню
Публикации
Главный редактор

ТИБИЛОВ
Александр Саламович
к ф-м.н., ст.н.с
УДК617.7 535.34
Вишняков Г. Н., Левин Г. Г., Минаев В., Цельмина И.
Интерферометр фазового сдвига для контроля плоских и сферических оптических деталей
Рассмотрен автоматизированный интерферометр, позволяющий измерять профиль поверхности плоских и сферических (с большим радиусом кривизны) оптических деталей. Диаметр поля зрения интерферометра до 30 мм. Вертикальная компоновка основных оптических элементов интерферометра позволила добиться его компактности и малой чувствительности к вибрациям. Автоматическое измерение профиля поверхности производится с помощью 9-ти шагового метода фазового сдвига. Приведены результаты экспериментального испытания интерферометра и его технические характеристики.
Ключевые слова:
интерферометрия фазового сдвига, профиль поверхности, радиус кривизны, децентровка