Рассмотрен автоматизированный интерферометр, позволяющий измерять профиль поверхности плоских и сферических (с большим радиусом кривизны) оптических деталей. Диаметр поля зрения интерферометра до 30 мм. Вертикальная компоновка основных оптических элементов интерферометра позволила добиться его компактности и малой чувствительности к вибрациям. Автоматическое измерение профиля поверхности производится с помощью 9-ти шагового метода фазового сдвига. Приведены результаты экспериментального испытания интерферометра и его технические характеристики.

Ключевые слова: интерферометрия фазового сдвига, профиль поверхности, радиус кривизны, децентровка