Меню
Публикации
Главный редактор

ТИБИЛОВ
Александр Саламович
к ф-м.н., ст.н.с
УДК 53.087.42
Бородин С., Волков А. В., Казанский Н.
Читать статью полностью
Устройство для анализа наношероховатостей и загрязнений подложки по динамическому состоянию капли жидкости, наносимой на ее поверхность
Читать статью полностью

В статье развивается метод экспресс-контроля степени чистоты поверхности подложек, предназначенных для формирования микрорельефа дифракционных оптических элементов. Разработан и запатентован способ контроля наношерооватости и степени чистоты поверхности по динамическому состоянию капли жидкости. Приведены результаты экспериментов по оценке поведения капли жидкости, полученные с помощью высокоскоростной видеокамеры. Устройство применяется для оперативной коррекции технологического процесса финишной очистки диэлектрических подложек.
Ключевые слова:
плазмохимическое травление, смачиваемость поверхности, параметры процесса растекания капли