Меню
Публикации
Главный редактор

ТИБИЛОВ
Александр Саламович
к ф-м.н., ст.н.с
УДК53.087.92 + 681.7.064
Кручинин Д. Ю., Анисимова О., Тырышкина А.
Читать статью полностью
Исследование угловых погрешностей лимбов, изготовленных методом обратной фотолитографии
Читать статью полностью

Рассмотрены результаты исследования влияния технологического процесса обратной фотолитографии на угловые погрешности круговых оптических шкал (лимбов).
Ключевые слова:
круговая оптическая шкала, лимб, угловая погрешность, обратная фотолитография.