Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
Апрель 2014 № 4(81)
УДК 53.087.92 + 681.7.064

Исследование угловых погрешностей лимбов, изготовленных методом обратной фотолитографии

Кручинин Д. Ю., Анисимова О. ., Тырышкина А. .


Читать статью полностью 
Рассмотрены результаты исследования влияния технологического процесса обратной фотолитографии на угловые погрешности круговых оптических шкал (лимбов).
Ключевые слова: круговая оптическая шкала, лимб, угловая погрешность, обратная  фотолитография.
Информация 2002-2017 ©
Научно-технический «ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
Все права защищены.