Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
Январь 2014 № 1(81)
УДК53.087.92 + 681.7.064

Исследование угловых погрешностей лимбов, изготовленных методом обратной фотолитографии

Кручинин Д. Ю., Анисимова О., Тырышкина А.


Читать статью полностью 
Рассмотрены результаты исследования влияния технологического процесса обратной фотолитографии на угловые погрешности круговых оптических шкал (лимбов).
Ключевые слова: круговая оптическая шкала, лимб, угловая погрешность, обратная  фотолитография.
Информация 2002-2020 ©
Научно-технический «ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
Все права защищены.