Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
Апрель 2014 № 4(81)
УДК 535.621

Равномерность толщины пленок, осажденных на вращающиеся подложки

Котликов Е. Н., Иванов В. А., Прокашев В. ., Тропин А. Н.


Читать статью полностью 
При промышленном изготовлении многослойных оптических покрытий существенное значение имеет равномерность нанесения оптических пленок на большие по размеру (до 200 мм) дета- ли или кассеты с большим количеством подложек. В настоящей статье рассмотрена зависимость распределения толщины осажденной пленки по радиусу подложки большого размера от геометрических параметров планетарного механизма вращения подложек. Показано, что при некотором соотношении этих параметров неравномерность по толщине нанесенной пленки может не превышать 0,05% на всей поверхности подложки.
Информация 2002-2017 ©
Научно-технический «ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
Все права защищены.