Описан принцип работы современных источников спонтанного ультрафиолетового и вакуумного ультрафиолетового излучений на основе эксимерных и экси-плексных молекул – эксиламп. Даны ссылки на пионерские работы, в которых для возбуждения излучения эксиламп используется барьерный разряд. Рассмотрены конструкции эксиламп барьерного разряда и облучающих модулей на их основе, эффективные режимы работы, спектры излучения наиболее перспективных эксиламп. Приведены примеры применения эксиламп барьерного разряда в науке и технике.

Ключевые слова: барьерный разряд, эксимер, эксиплекс, эксилампа