Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
Январь 2014 № 1(81)
УДК537.52

ВУФ-лампа емкостного разряда на смеси паров воды с аргоном

Шуаибов А., Миня А., Гомоки З., Шевера И., Грицак Р.


Читать статью полностью 
Приведены результаты исследования спектральных характеристик плазмы (175–200 нм) импульсно-периодической лампы емкостного разряда, которая работает на смеси паров воды с аргоном. Показано, что при низком давлении аргона емкостной разряд является широкополосным источником вакуумного ультрафиолетового излучения. Проведена оптимизация интенсивности полос излучения плазмы емкостного разряда в зависимости от парциального давления аргона и паров воды. Для разряда в смеси аргона с парами воды выполнены расчеты электронных кинетических коэффициентов.
Ключевые слова: емкостный разряд, ВУФ-излучение, электронные кинетические коэффициенты
Информация 2002-2020 ©
Научно-технический «ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
Все права защищены.