Исследован импульсный сильноточный скользящий разряд по поверхности сапфира, используемый для возбуждения газов (Ar, Kr) при давлении до 25 атм. Измерена пространственно-временная динамика развития скользящего разряда. Проанализированы спектрально- временные зависимости его свечения и обсуждены процессы, влияющие на излучение плазмы в вакуумной ультрафиолетовой области. Возможности скользящего разряда для прямой накачки газовых лазеров продемонстрированы для XeCl- и KrF-эксимерных лазеров c энергией генерации 0,15 и 0,12 мДж соответственно и частотой следования импульсов до 1 кГц без циркуляции газа.

Ключевые слова: ВУФ, континуум, эксимерный лазер, спектроскопическая диагностика, сильноточный скользящий разряд, сапфир