Меню
Публикации
Главный редактор

ТИБИЛОВ
Александр Саламович
к ф-м.н., ст.н.с
УДК681.723.26
Лопарев А. В., Правдивцев А. В., Игнатьев П., Индукаев К., Осипов П., Ромаш Е.
Читать статью полностью
Метрологическая платформа с модуляционным интерференционным микроскопом
Читать статью полностью

Приведены результаты разработки уникальной метрологической платформы, предназначенной для исследования нанодефектов объекта и измерения плоскостности его поверхности на больших площадях. Конструкция платформы основана на согласованном применении метода модуляционной интерференционной микроскопии и бесконтактных аэромагнитных направляющих. Рассмотрены оптическая схема и алгоритм получения панорамных изображений. Показаны перспективы применения метрологической платформы в оптической и полупроводниковой промышленности.
Ключевые слова:
модуляционная интерференционная микроскопия, сверхразрешение, топология интегральных схем, контроль качества