Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
Апрель 2014 № 4(81)
УДК 681.723.26

Метрологическая платформа с модуляционным интерференционным микроскопом

Лопарев А. В., Правдивцев А. В., Игнатьев П. ., Индукаев К. ., Осипов П. ., Ромаш Е. .


Читать статью полностью 
Приведены результаты разработки уникальной метрологической платформы, предназначенной для исследования нанодефектов объекта и измерения плоскостности его поверхности на больших площадях. Конструкция платформы основана на согласованном применении метода модуляционной интерференционной микроскопии и бесконтактных аэромагнитных направляющих. Рассмотрены оптическая схема и алгоритм получения панорамных изображений. Показаны перспективы применения метрологической платформы в оптической и полупроводниковой промышленности.
Ключевые слова: модуляционная интерференционная микроскопия, сверхразрешение, топология интегральных схем, контроль качества
Информация 2002-2017 ©
Научно-технический «ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
Все права защищены.