Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
Апрель 2014 № 4(81)
УДК 681.723.26

Лазерная модуляционная интерференционная микроскопия оптических поверхностей

Лопарев А. В., Зензинов А. ., Игнатьев П. ., Индукаев К. ., Осипов П. ., Ромаш Е. .


Читать статью полностью 
Разработана новая версия модуляционного интерференционного микроскопа с длинноходовым координатным столом на аэромагнитных направляющих, обеспечивающих перемещение микроскопа с непрямолинейностью не более 0,1 мкм на длине хода до 300 мм. Данная модификация микроскопа может быть использована для исследования поверхности крупногабаритных оптических деталей размером до 300´300´100 мм с разрешением 0,1 нм по вертикали и 10–100 нм в плоскости образца. Рассмотрены конструкция и принцип работы основных узлов микроскопа. На примерах показаны возможности и преимущества разработанного микроскопа при исследовании оптических поверхностей.
Ключевые слова: модуляционная интерференционная микроскопия, оптическая анизотропия, исследования оптических поверхностей, топология интегральных схем, наноструктурные исследования
Информация 2002-2017 ©
Научно-технический «ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
Все права защищены.