Меню
Публикации
Главный редактор

ТИБИЛОВ
Александр Саламович
к ф-м.н., ст.н.с
УДК535.317
Иванова Т. В., Зуева Л.
Читать статью полностью
Исследование способов дискретизации источника при моделировании фотолитографического изображения
Читать статью полностью

В рамках модели Аббе при моделировании формирования фотолитографического изображения рассмотрены два способа дискретизации источника: по прямоугольной сетке с различным шагом дискретизации и при радиальном расположении точек на прямоугольной сетке с различным шагом по радиусу и по длине дуги между точками. Показано, что использование радиального распределения точек значительно ускоряет процесс вычисления, при этом точность моделирования определяется в основном шагом по радиусу.
Ключевые слова:
фотолитография, модель Аббе, дискретизация источника