Рассмотрены результаты формирования решеток резонансных и широкополосных планарных элементов – метаматериалов, выполняющих функцию полосовых фильтров, поляризаторов терагерцового диапазона, выполненных методом прямой лазерной гравировки металлизированной полимерной пленки. Исследовано возбуждение поверхностного плазмона в перфорированном металлическом слое. Рассмотрены методы расчета таких структур, приведены результаты их экспериментального формирования, выполнено сравнение результатов расчета с экспериментом.

Ключевые слова: метаматериал, плазмон, лазерная гравировка, абляция, терагерцовое излучение, полосовой фильтр, поляризатор, миллиметровые волны