Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
Апрель 2014 № 4(81)
УДК 681.7.055.4

Определение топографии двулучепреломления в кристаллах флюорита и исследование его влияния на качество изображения проекционных фотолитографических систем

Ган М. А., Никулина Е. .


Читать статью полностью 
Рассмотрена установка для измерения характеристик остаточного двулучепреломления крупногабаритных оптических кристаллов флюорита методом скрещенных поляроидов. Приведена математическая модель предложенного метода. Анализируется функция рассеяния точки, описывающая влияние двулучепреломления на качество изображения.
Ключевые слова: двулучепреломление, поляризация, аберрации, функция рассеяния точки
Информация 2002-2017 ©
Научно-технический «ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
Все права защищены.