Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
Апрель 2014 № 4(81)
УДК 544.537

Исследование низкопороговых механизмов модификации структуры тонких пленок хрома под действием сверхкоротких лазерных импульсов

Ярчук М. В., Иванов А. И.


Читать статью полностью 
Рассмотрен термохимический метод записи информации, основанный на локальном лазерном окислении тонких пленок хрома, с последующим травлением необлученной области. Этот способ является альтернативой лазерной фотолитографии и прямому лазерному удалению пленки хрома. Он применяется в основном для изготовления дифракционных оптических элементов. В термохимическом способе записи информации отсутствуют термические и гидродинамические искажения рисунка, как при лазерной абляции, а количество технологических операций существенно меньше, чем в фотолитографии. В настоящее время дифракционные оптические элементы используются в больших телескопах, матрицах микролинз, лазерной оптике и т. д. Основным требованием ко всем типам дифракционных оптических элементов является высокое пространственное разрешение. Поиск методов повышения разрешения дифракционных оптических элементов является основной мотивацией исследования структуры облученных пленок хрома.
Ключевые слова: модификация поверхности, тонкие пленки хрома, оксиды хрома, фемтосекундные лазерные импульсы
Информация 2002-2017 ©
Научно-технический «ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
Все права защищены.