Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
Апрель 2014 № 4(81)
УДК 544.023.22 – 023.25

Исследование материалов для защиты выходных зеркал полупроводниковых лазеров на основе AlGaAs/GaAs-гетероструктур

Козырев А. ., Микаелян Г. .

Проведено исследование оптических свойств тонких пленок селенида цинка, оксида алюминия и нитрида кремния, полученных электронно-лучевым испарением с использованием ионного ассистирования. Показано, что полученные пленки селенида цинка имеют высокую шероховатость и слабые защитные свойства. С помощью реактивного напыления получены пленки нитрида кремния, повышающие предельную мощность лазеров в 2,5 раза. На примере нитрида кремния показана возможность управления оптическими характеристиками пленок путем изменения параметров процесса напыления. Показано, что пленки оксида алюминия, полученные с помощью ионного ассистирования, повышают предельную мощность лазерных диодов в 2 раза по сравнению с аналогичными пленками, полученными без ионного ассистирования.
Ключевые слова: селенид цинка, оксид алюминия, нитрид кремния, ионное ассистирование
Информация 2002-2017 ©
Научно-технический «ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
Все права защищены.