Меню
Публикации
Главный редактор

ТИБИЛОВ
Александр Саламович
к ф-м.н., ст.н.с
УДК535.231.6
Зеров В., Маляров В., Хребтов И.
Читать статью полностью
Антенно-связанные микроболометры
Читать статью полностью

Проанализированы тенденции развития устройств и технологий изготовления антенно-связанных микроболометров инфракрасного, субмиллиметрового и миллиметрового диапазонов. В зависимости от решаемой задачи эти тепловые приемники могут быть одиночными, либо выстроенными в линейные или двумерные матрицы и работать при температурах 300, 78 и 4 K. Температура определяет выбор материала пленочного термочувствительного элемента – металла, полупроводника, высокотемпературного или классического сверхпроводника. Планарные антенны, используемые в этих приемниках, обеспечивают эффективный прием излучения в заданном спектральном диапазоне. Обсуждаются достигнутые параметры и примеры использования антенно-связанных микроболометров.
Ключевые слова:
антенно-связанный микроболометр, двумерные матрицы, планарные антенны, терагерцовый диапазон, инфракрасный диапазон, криогенные температуры