Описан способ определения коротковолновой границы применимости рельефнофазовых голограммных оптических элементов (ГОЭ), обусловленной шероховатостью их поверхности. Его суть заключается в использовании данных, получаемых с помощью атомно-силового микроскопа, для определения усредненной по базовой площади, т. е. площади сканирования, формы профиля рельефа ГОЭ; в определении на ее основе усредненных по той же базовой площади значений среднеквадратической шероховатости его поверхности и в последующем расчете граничной длины волны применимости ГОЭ. Разработан программный модуль для реализации способа.

Ключевые слова: рельефно-фазовая голограмма, голограммный оптический элемент, шероховатость поверхности, среднеквадратическая шероховатость поверхности, аберрации оптических систем, светорассеяние, программный модуль