Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
Апрель 2014 № 4(81)
УДК 681.723.26

Исследование оптических свойств наноструктур методом модуляционной интерференционной микроскопии

Игнатьев П. ., Индукаев К. ., Лопарев А. В., Осипов П. .


Читать статью полностью 
Разработан модуляционный интерференционный микроскоп с рекордно высоким латеральным разрешением (10–100 нм) и высокой (до 250 кадров в секунду) скоростью получения изображений. Приводятся описания оптической схемы прибора, принципов работы и проблем сверхвысокого оптического разрешения в фазовых изображениях. Обсуждаются возможные пути развития метода модуляционной интерференционной микроскопии, а также области применения метода для исследования наноструктурированных материалов, топологии интегральных микросхем и морфологии биологических объектов.
Ключевые слова: модуляционная интерференционная микроскопия, сверхразрешение, оптическая анизотропия, топология ИС, нанодинамика
Информация 2002-2017 ©
Научно-технический «ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
Все права защищены.