Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
Январь 2014 № 1(81)
УДК681.723.26

Исследование оптических свойств наноструктур методом модуляционной интерференционной микроскопии

Игнатьев П., Индукаев К., Лопарев А. В., Осипов П.


Читать статью полностью 
Разработан модуляционный интерференционный микроскоп с рекордно высоким латеральным разрешением (10–100 нм) и высокой (до 250 кадров в секунду) скоростью получения изображений. Приводятся описания оптической схемы прибора, принципов работы и проблем сверхвысокого оптического разрешения в фазовых изображениях. Обсуждаются возможные пути развития метода модуляционной интерференционной микроскопии, а также области применения метода для исследования наноструктурированных материалов, топологии интегральных микросхем и морфологии биологических объектов.
Ключевые слова: модуляционная интерференционная микроскопия, сверхразрешение, оптическая анизотропия, топология ИС, нанодинамика
Информация 2002-2020 ©
Научно-технический «ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
Все права защищены.