Исследовано применение метода наноимпринта для единичного копирования полимерной френелевской и микрооптики. Определены условия проведения процесса, обеспечивающие наилучшую точность передачи мелких деталей, в частности вакуумирование силоксана и отверждаемого ультрафиолетом (УФ) акрилата при затекании в матрицу. Проведена оценка точности передачи формы оптической поверхности при копировании.