Меню
Публикации
Главный редактор

ТИБИЛОВ
Александр Саламович
к ф-м.н., ст.н.с
УДК547.97:535.8; 541.147
Арефьева Н., Денисюк И. .
ПРИМЕНЕНИЕ МЕТОДА НАНОИМПРИНТА ДЛЯ ЕДИНИЧНОГО КОПИРОВАНИЯ ПОЛИМЕРНОЙ ФРЕНЕЛЕВСКОЙ И МИКРООПТИКИ
Исследовано применение метода наноимпринта для единичного копирования полимерной френелевской
и микрооптики. Определены условия проведения процесса, обеспечивающие наилучшую
точность передачи мелких деталей, в частности вакуумирование силоксана и отверждаемого
ультрафиолетом (УФ) акрилата при затекании в матрицу. Проведена оценка точности передачи
формы оптической поверхности при копировании.