Исходное плоскопараллельное положение фотоприемной матрицы (ФПМ) и кремниевого мультиплексора (МП) возникает при соприкосновении верхушек индиевых микростолбов под действием лишь силы тяжести ФПМ. Ориентацию кристаллов (поxy) проводим в видимом свете, используем выносные реперные знаки на ФПМ. Цепочки лазерных микропробоин в полиимиде выносных реперных знаков совмещаем с реперными знаками на МП. Учитываем исходные погрешности всех осевых линий;погрешность совмещения достигает ± 0,4 мкм (по xy). На всех стадиях сборки МП включен, наблюдаем прикасание и сварку микростолбов.Во избежание перекосов планаров (по z) применяем стоп-ограничители подходящей высоты, расположенные по периметру ФПМ.

Ключевые слова: фотоприемная матрица, инфракрасный приемный модуль, индиевые микростолбы.