Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
Январь 2014 № 1(81)
УДК621.315.592:621.383.4/5.029.71/73

Технология сборки крупноформатных инфракрасных фотоприёмных модулей на индиевых микростолбах

Клименко А., Недосекина Т., Карнаева Н., Марчишин И., Новоселов А., Овсюк В., Есаев Д.


Читать статью полностью 
Исходное плоскопараллельное положение фотоприемной матрицы (ФПМ) и кремниевого мультиплексора (МП) возникает при соприкосновении верхушек индиевых микростолбов под действием лишь силы тяжести ФПМ. Ориентацию кристаллов (поxy) проводим в видимом свете, используем выносные реперные знаки на ФПМ. Цепочки лазерных микропробоин в полиимиде выносных реперных знаков совмещаем с реперными знаками на МП. Учитываем исходные погрешности всех осевых линий;погрешность совмещения достигает ± 0,4 мкм (по xy). На всех стадиях сборки МП включен, наблюдаем прикасание и сварку микростолбов.Во избежание перекосов планаров (по z) применяем стоп-ограничители подходящей высоты, расположенные по периметру ФПМ.
Ключевые слова: фотоприемная матрица, инфракрасный приемный модуль, индиевые микростолбы.
Информация 2002-2020 ©
Научно-технический «ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
Все права защищены.