Рассмотрены особенности конструкции и технологии изготовления серии линейных фоточувствительных приборов с зарядовой связью (ЛФПЗС) с числом элементов от 3072 до 6144. Приборы имеют шаг расположения фоточувствительных элементов 13 мкм, что обеспечивает разрешение 38,5 пар лин/мм. Приведены основные геометрические и фотоэлектрические параметры ЛФПЗС.

Ключевые слова: прибор с зарядовой связью, линейный ФПЗС: процесс изготовления, параметры, характеристики.