Представлены результаты разработки фотоприемников для инфракрасного и терагерцового диапазонов на основе неохлаждаемых матричных микроболометрических приемников, изготовленных по золь-гель технологии. Продемонстрированы приемники форматом 320×240 элементов, имеющие в диапазоне 8–14 мкм температурное разрешение менее 100 мК и пороговую мощность 160 пВт/пиксел при времени отклика 12–16 мс. Пороговая мощность на длине волны 130 мкм составила 33 нВт/пиксел при визуализации терагерцового изображения форматом 160×120 со скоростью 90 кадр/с. Разработана конструкция сопряжения антенны с неохлаждаемым высокоомным микроболометром интегрального исполнения, позволяющая значительно увеличить чувствительность приемника в терагерцовом диапазоне.

Ключевые слова: микроболометр, антенна, оксид ванадия, неохлаждаемый, матричный, инфракрасный, терагерцовый, приемник.