Развитие оптических нанотехнологий получения сверхгладких поверхностей опти- ческих деталей и высокоэффективных защитных просветляющих покрытий невозможно без применения и развития методов ионной обработки поверхности оптических деталей. В статье рассмотрено применение ионной обработки для получения сверхгладких, с ше- роховатостью 3–5 Å, поверхностей деталей из различных оптических материалов.

Ключевые слова: ионная и ионно-химическая обработка, шероховатость поверх- ности, оптические покрытия