Меню
Публикации
Главный редактор

ТИБИЛОВ
Александр Саламович
к ф-м.н., ст.н.с
УДК531.7.082.5; 535.42/44
Назаров В. Н., Иванов А. Н.
Использование муарового эффекта для создания высокоточных дифракционных систем контроля геометрических параметров объектов
Предложен метод дифракционного контроля, основанный на освещении контроли-
руемого объекта парой распространяющихся под углом друг к другу волновых фронтов.
Установлено, что такое освещение приводит к формированию муаровой картины, вид
которой связан с геометрическими параметрами контролируемого объекта. Рассмотрена
возможность применения этого метода для контроля толщин объектов.
Ключевые слова:
дифракционные измерения, муар, дифракционная картина