Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
Апрель 2014 № 4(81)
УДК 531.7.082.5; 535.42/44

Использование муарового эффекта для создания высокоточных дифракционных систем контроля геометрических параметров объектов

Назаров В. Н., Иванов А. Н.

Предложен метод дифракционного контроля, основанный на освещении контроли- руемого объекта парой распространяющихся под углом друг к другу волновых фронтов. Установлено, что такое освещение приводит к формированию муаровой картины, вид которой связан с геометрическими параметрами контролируемого объекта. Рассмотрена возможность применения этого метода для контроля толщин объектов.
Ключевые слова: дифракционные измерения, муар, дифракционная картина
Информация 2002-2017 ©
Научно-технический «ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
Все права защищены.