Рассмотрены особенности формообразования малоразмерным инструментом рабо- чих поверхностей крупногабаритных дисковых активных элементов. Представлены результаты измерения мелкоструктурной ошибки. Приведен алгоритм и результаты численного моделирования искажений волнового фронта пучка, прошедшего через произвольное число элементов, содержащих мелкоструктурную ошибку.

Ключевые слова: дисковый активный элемент, интерферограмма, малоразмерный инструмент, мелкоструктурная ошибка