Меню
Публикации
Главный редактор

ТИБИЛОВ
Александр Саламович
к ф-м.н., ст.н.с
УДК535-31
Ворзобова Н. Д., Булгакова В. Г., Бурункова Ю. Э.
Читать статью полностью
РАЗМЕРНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ПОЛИМЕРНЫХ МИКРОСТРУКТУР ПРИ УФ-ОТВЕРЖДЕНИИ НАНОКОМПОЗИТА
Читать статью полностью

Исследованы закономерности формирования трехмерных полимерных микро-
структур в УФ-отверждаемом нанокомпозите. Установлена связь размерных характе-
ристик элементов микроструктур с экспозиционными параметрами, характеристиками
амплитудной маски, толщиной слоя. Определены пути уменьшения характеристиче-
ских размеров элементов микроструктур и увеличения форматного отношения.
Ключевые слова:
полимерная микроструктура, нанокомпозит, фотополимеризация, глубокая литография, характеристический размер, форматное отношение.