Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
Апрель 2014 № 4(81)
УДК 535-31

РАЗМЕРНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ПОЛИМЕРНЫХ МИКРОСТРУКТУР ПРИ УФ-ОТВЕРЖДЕНИИ НАНОКОМПОЗИТА

Ворзобова Н. Д., Булгакова В. Г., Бурункова Ю. Э.


Читать статью полностью 
Исследованы закономерности формирования трехмерных полимерных микро- структур в УФ-отверждаемом нанокомпозите. Установлена связь размерных характе- ристик элементов микроструктур с экспозиционными параметрами, характеристиками амплитудной маски, толщиной слоя. Определены пути уменьшения характеристиче- ских размеров элементов микроструктур и увеличения форматного отношения.
Ключевые слова: полимерная микроструктура, нанокомпозит, фотополимеризация, глубокая литография, характеристический размер, форматное отношение.
Информация 2002-2017 ©
Научно-технический «ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
Все права защищены.