Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
Апрель 2014 № 4(81)
УДК 621.793

ОПРЕДЕЛЕНИЕ ОПТИЧЕСКИХ ПОСТОЯННЫХ ТОНКИХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК ВО ВРЕМЯ ИХ ОСАЖДЕНИЯ В ВАКУУМЕ

Андреев С. ., Путилин Э. .


Читать статью полностью 
Предложен метод контроля оптических постоянных и толщины слоя во время его осаждения в вакууме по измерениям коэффициентов отражения и пропускания на двух подложках с различ­ными показателями преломления. Все четыре измеряемых сигнала, а также сигнал фоновой за­светки контролируются монохромным пространственным приемником излучения. Апробация системы проводилась на пленках никеля толщиной до 80 нм.
Информация 2002-2017 ©
Научно-технический «ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
Все права защищены.