Меню
Публикации
Главный редактор

ТИБИЛОВ
Александр Саламович
к ф-м.н., ст.н.с
УДК621.793
Андреев С., Путилин Э.
Читать статью полностью
ОПРЕДЕЛЕНИЕ ОПТИЧЕСКИХ ПОСТОЯННЫХ ТОНКИХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК ВО ВРЕМЯ ИХ ОСАЖДЕНИЯ В ВАКУУМЕ
Читать статью полностью

Предложен метод контроля оптических постоянных и толщины слоя во время его осаждения в вакууме по измерениям коэффициентов отражения и пропускания на двух подложках с различными показателями преломления. Все четыре измеряемых сигнала, а также сигнал фоновой засветки контролируются монохромным пространственным приемником излучения. Апробация системы проводилась на пленках никеля толщиной до 80 нм.