Предложен метод контроля оптических постоянных и толщины слоя во время его осаждения в вакууме по измерениям коэффициентов отражения и пропускания на двух подложках с различ­ными показателями преломления. Все четыре измеряемых сигнала, а также сигнал фоновой за­светки контролируются монохромным пространственным приемником излучения. Апробация системы проводилась на пленках никеля толщиной до 80 нм.